微纳光电检测与太赫兹技术实验室基于乐动网页版学科优势发展和建设，紧扣国家和广西经济和社会发展中亟待解决的需求为导向，以现代光电检测方法与精密仪器交叉融合为特点，具有光、机、电、图像处理、量子光学等学科交叉优势，注重理论与实践相结合，在基础理论、关键技术研究的基础上开展原创性技术开发。实验室共承担含国家科技重大专项（02专项）课题（1项），国家自然科学基金（5项）在内的国家级项目6项，承担含广西杰出青年基金（1项）、广西自然科学基金项目（6项）和广西科技开发项目（4项）在内的省部级项目12项，承担企业横向委托课题16项，项目到位总经费2000余万元。获广西科技奖（自然科学奖）二等奖2项、国防科学技术进步奖三等奖1项。发表学术论文百余篇，其中SCI、EI收录77篇，申请专利32件，获得授权专利9件。

目前团队有成员13人，其中博士生导师3人，硕士生导师9人，具有博士学位8人 (占61.5%)，具有海外经历人员8人，高级职称人员8人。具有省部级以上人才称号4人，包括青年长江学者、国家优青、广西八桂学者韩家广教授，广西特聘专家、广西十百千人才工程第二层次人选张文涛教授、胡放荣研究员，广西高校海外高层次人才“百人计划”人选黄巍博士。

团队成员

熊显名、张文涛、韩家广、胡放荣、黄巍、曾启林、秦祖军、银珊、陈乐、张隆辉、张丽娟、蒋曲博、李莉

研究方向

主要成果

1. 广西科学技术奖（自然科学奖）二等奖“激光驻波场汇聚中性原子沉积纳米光栅三维分析”；

2. 广西科学技术奖（自然科学奖）二等奖“微纳结构的光频与太赫兹响应特性及功能器件”；

3. 国防科学技术进步奖三等奖“全光纤喇曼级联光纤激光器”；

4. 广西青年科技奖；

5. 广西科技展展品“光纤型红外测温仪”、“三目空间坐标测量仪”。

图 1 广西科学技术奖（自然科学奖）获奖情况

图 2 国防科学技术进步奖及广西青年科技奖

图 3 广西科技展展品

主要项目

1. 国家科技重大专项（02专项）课题“高精度位置测量系统在线标定技术研究”；

2. 国家自然科学基金面上项目“基于MEMS可重构超材料的动态可调太赫兹滤波器理论与关键技术”；

3. 国家自然科学基金地区项目“光纤端纳米天线制备方法研究”；

4. 国家自然科学基金地区项目“基于非线性耦合机理的少模光纤传导模式控制方法研究”；

5. 国家自然科学基金地区项目“基于超材料的太赫兹波长可调窄带吸波体研究”；

6. 国家自然科学基金地区项目“衍射激光驻波场汇聚原子沉积纳米光栅关键技术研究”；

7. 广西自然科学杰出青年基金“基于直边衍射的纳米光栅沉积特性三维分析”；

8. 广西自然科学基金重点项目“基于MEMS 可重构超材料的双频段动态可调太赫兹滤波器研究”；

9. 广西自然科学基金重点项目“激光准直中性铬原子束空间分布三维全貌分析”；

10. 广西自然科学基金面上项目“超材料太赫兹多带吸波体及其吸收峰调控特性研究”；

11. 广西自然科学基金面上项目“太赫兹波段透射型编码器的研究”；

12. 广西自然科学基金青年基金项目“太赫兹超材料电磁响应中的瑞利反常研究”；

13. 广西海外高层次人才引进计划项目“基于量子调控设计鲁棒性极强的经典物理系统”；

14. 广西科技计划开发项目“基于太赫兹技术的新一代危险品检测分析仪”；

15. 广西科学研究与技术开发课题“基于太赫兹技术的新一代危险品检测分析仪”；

16. 广西科学研究与技术开发课题“偏光镜片关键技术研究及产业化”；

17. 广西科技计划项目人才专项“基于太赫兹超材料的功能性器件研究”；

18. 广西信息科学实验中心重点项目“基于MEMS技术的超材料太赫兹可调谐多带吸波体研究”；

u 授权专利

1. 一种实现真空容器内纳米光栅沉积基片位置操控的方法及其装置，发明专利(ZL201210267363.2);

2. 一种真空容器内纳米光栅沉积基片位置操控装置，实用新型专利(ZL201220375153.0);

3. 一种太赫兹频段可调多带吸波体，实用新型专利(ZL201220160081.8);

4. 一种吸收带宽动态连续可调的太赫兹吸波体，发明专利(ZL201310477713.2);

5. 一种基于布里渊相移检测的动态应变测量方法及测量装置,发明专利(ZL201410004860.2);

6. 四线偏振模信号光在线掺铒光纤放大器，实用新型专利(ZL201420801557.0);

7. 一种基于氧化钒光栅的太赫兹频段可调超宽带吸波体，发明专利(ZL201410634569.3);

8. 一种透射型太赫兹波编码器及2比特编码系统，实用新型专利(ZL201821965798.3);

9. 一种基于等离子器件的透射型太赫兹波编码器及编码系统，实用新型专利(ZL201820277628.X)。

实验平台

1. 高精度位移测量系统：主要用于研究国产浸没光刻机向14nm延伸的关键技术，包括全行程多自由度超高精度定位测量算法开发与验证，高精度定位测量精度在线标定理论、方法研究与验证，高精度测量算法实时性评估与计算效率优化研究，全行程多自由度重复精度测试分析与研究。

2. 太赫兹实验室：配备有恒温恒湿超净间，拥有太赫兹时域光谱系统3套，可以实现太赫兹光谱的透射、反射和多角度测量。该平台主主要开展太赫兹图像处理的理论与关键技术研究、太赫兹在无损检测、生物医学成像方面的图像处理研究、太赫兹波的传输特性与波束控制理论研究等。

3. 光电信息检测平台：主要开展集成电路热稳定性测试、生物特征身份识别、纳米光栅长度计量传递标准等方面研究，其中与同济大学李同保院士课题组合作进行的激光驻波场沉积铬原子实现纳米光栅技术的研究，其精度达10-2nm。

4. 量子光学与微纳光学仿真平台：利用模拟仿真平台对量子系统的薛定谔方程，主方程进行数值模拟求解；对微纳光学及微纳器件进行仿真设计。该平台主要应用于计算机中对量子态的演化的研究与探索，对微纳器件的仿真研究和优化设计。